光刻胶是半导体制造和微电子加工中的关键材料，其性能直接影响光刻工艺的分辨率和图案精度。光刻胶检测旨在评估其成分、均匀性等情况，确保其满足高精度光刻工艺的要求。

光刻胶检测范围

半导体光刻胶：正性光刻胶、负性光刻胶、化学放大光刻胶等

显示屏光刻胶：LCD用光刻胶、OLED用光刻胶、彩色光刻胶等

PCB光刻胶：干膜光刻胶、液态光刻胶、抗蚀剂等

先进封装光刻胶：厚膜光刻胶、薄膜光刻胶、临时键合胶等

特殊用途光刻胶：电子束光刻胶、纳米压印光刻胶等

其他材料：光刻胶稀释剂、显影液、去胶剂等配套试剂

光刻胶检测项目

物理性能：粘度、固体含量、密度、表面张力等

光学性能：透光率、折射率、感光波长范围（如g线、i线、KrF、ArF、EUV等）

感光特性：灵敏度、对比度、分辨率、曝光阈值等

缺陷分析：颗粒度、气泡、涂布均匀性、边缘粗糙度（LER）

化学组成：树脂成分、光引发剂含量、溶剂残留、金属杂质（Na、K、Fe等）

工艺适配性：显影速率、抗蚀刻性能、热稳定性、附着力等

光刻胶检测标准

GB/T31370-2015半导体光刻胶通用规范

GB/T26182-2010光刻胶耐化学性测试方法

SJ/T11485-2015液晶显示器用光刻胶性能要求

ASTMF723-2018光刻胶线性分辨率的测试方法

IEC61215光伏器件用光刻胶性能评估

SEMIP37-1108光刻胶金属杂质含量测试指南

JISK5600-7-5光刻胶膜厚测定方法

做检测为何选择测博士？

1、测博士是以检测分析业务为主的综合型科技服务商

2、官方自营，微谱自有实验室

3、快速报价，流程简单，周期短，一对一顾问式服务

4、服务地区覆盖中国及多个海外地区

5、专业完善的仪器平台和强大的专业技术团队

服务流程

咨询沟通（确定检测需求）→商定检测方案并报价（沟通测定测试方案并报价）→付款并寄样（签订委托协议书，付款并寄送样品）
→按照方案测试完成测试（试验、分析测试及电子报告确定）→寄送样品（寄送纸质版报告、发票及样品）